1. Đặc điểm của thiết bị dò, kiểm tra khí phát ra trên vật liệu bán dẫn NEW COSMOS XP-703DIII
- Kích thước nhỏ gọn, tiện dụng.
- Có thể phát hiện rò rỉ chỉ với 1 lượng nhỏ từ vật liệu bán dẫn.
- Có thể phát hiện và cảnh báo rò rỉ được ngay cả khi phát hiện âm thanh phát ra trong quá trình thay đổi (gián đoạn) nồng độ, tốc độ khí (ga) tại khu vực rò rỉ giúp phát hiện dễ dàng.
- Có thể phát hiện được trên nhiều loại vật liệu bán dẫn khác nhau : arsine, phosphine, diborane, silane, hydro, v.v.
- Đèn cảnh báo được lắp cả ở mặt trước và sau giúp dễ dàng quan sát.
- Hiển thị lượng PIN, tình trạng bơm, trạng thái của thiết bị… trên màn hình hiển thị.
- Bảo hộ : tiêu chuẩn IP22(JIS C 0920)(khi được trang bị bao da)
2. Ứng dụng của thiết bị dò, kiểm tra khí phát ra trên vật liệu bán dẫn NEW COSMOS XP-703DIII
Đồng hồ đo khí độc rò rỉ tại khu vực sản xuất bán dẫn giúp bảo vệ an toàn cho các thiết bị liên quan tới Hydro và con người.
Target Gas | semiconductor manufacturing gas(arsine, phosphine, diborane, silane, hydrogen) |
Gas Sampling Method | Automatic suction-type |
Sensor Type | Hot wire semiconductor |
| Arsine | Phosphine | Diborane | Silane | Hydrogen |
Detectable leakage amount | 2.53× 10-7
Pa• m3 /s | 1.52× 10-7
Pa• m3 /s | 1.01× 10-7
Pa• m3 /s | 2.53× 10-7
Pa• m3 /s | 5.07× 10-7
Pa• m3 /s |
Detectable Concentration | 0.5 ppm | 0.3 ppm | 0.2 ppm | 0.5 ppm | 1.0 ppm |
Response Time | Within 10 seconds (at a gas concentration three times the detectable concentration, sensitivity setting [4]) |
display method | Intermittent sounds and flashing alarm lights |
Power Source | Two AA alkaline batteries |
Continuous use time *1 | Approx. 12 hours (AA alkaline batteries) [at normal temperature and humidity] |
Protection class *2 | IP22 equivalent |
Operating Temperature | 0℃ to +40℃ 85% RH or less (no condensation) |
External dimensions | W38×H130×D32mm (excluding protrusions) |
Weight | Approx. 190g (including batteries and leather case) |
Standard accessories | Leather case, drain filter, replacement filter element, attachment, test gas, hand strap, 2 AA alkaline batteries, etc. |
*1 May vary depending on environmental conditions, usage conditions, battery manufacturer, etc.
*2 When leather case is attached.