IWATSU CS-600A series Hệ thống đo CV điện áp cao

IWATSU
Loại: Máy quét điện áp cao
Hãng sản xuất: IWATSU

Liên hệ

Hệ thống đo C-V điện áp cao CS-600A: CS-605A (5kV) / CS-603A (3kV) – Lý tưởng để đo điện dung của các thiết bị bán dẫn công suất như SiC, GaN

Liên hệ

1. Đặc điểm của hệ thống đo CV điện áp cao IWATSU CS-600A series

  • Đo điện dung tự động lên đến 5kV (CS-605A) hoặc 3kV (CS-603A) (có chức năng Sweep)
  • Bộ chuyển đổi cho bộ theo dõi đường cong tương thích với nhiều gói thiết bị khác nhau có thể được sử dụng nguyên trạng
  • Hỗ trợ hệ thống hóa với các trạm thăm dò để đo điện dung trên wafer và chip
  • Cũng có thể đo điện dung của tụ điện cho điện áp cao

2. Ứng dụng của hệ thống đo CV điện áp cao IWATSU CS-600A series

Lý tưởng để đo điện dung của các thiết bị bán dẫn công suất như SiC, GaN

ItemCS-605ACS-603A
DC bias0-5kV / 0-50V0-3kV / 0-50V
Setting resolution100mV / 1mV
Measurement range
10kHz 100pF~10nF  ±5%(±50pF)
100kHz 10pF~1nF   ±5%(±2pF)
When Cgd: Cds: Cgs = 1: 1: 1, Cgd: Cds: Cgs = 1: 10: 100
Frequency range10kHz-100kHz
LCR meter
100mV~1V
measurement signal level range
Parameter for measurement
Cies, Ciss (input capacitance), Coes, Coss (output capacitance), Cres, Crss (reverse transmission capacitance),
CT (capacitance between terminals), Cgs, Cge/Cgd, Ccg/Cds, Cce (calculated value), Rg (gate resistance)
Measurement modeC-V: Capacitance vs. bias voltage, C-G: Capacitance vs. gate voltage, C-Time: Capacitance vs. time
Gate bias+/-25V at 1mV/step
TypeLinear/Log/List/Single
Sweep directionUP Sweep
Measurement point5000 points
OtherWaveform comparison, REF display, with interlock function, external interlock (option)
External dimensions/massApprox. 330W × 370D × 230H (mm) * Excluding protrusions/Approx. 8.5kg
Operating temperature range0 ℃ ~ +40 ℃
Performance warranty temperature range23℃±5 ℃
Operating humidity range
0~+40℃, 5%~80 % RH (30°C, no condensation)
Upper limit value 55% RH (40°C, no condensation)
Power supply input rangeAC 100-240 V 50/60Hz
Power consumption35VA