1. Đặc điểm của thiết bị phân tích phổ phân cực Ellip HORIBA UVISEL 2 VUV
- Mô phỏng pha bằng PEM tại tần số 50KHz.
- Làm sạch bằng nitơ trong 45 giây.
- Đạt chân không trong 2 phút
- Đo toàn bộ dải phổ trong 8 phút.
- 02 chế độ làm việc: làm sạch nitơ và chân không, làm sạch nitơ liên tục.
- Dải phổ: 147nm~850nm, 147nm~2100nm
2. Ứng dụng của thiết bị phân tích phổ phân cực Ellip HORIBA UVISEL 2 VUV
- Phòng thí nghiệm
- Phòng nghiên cứu