HORIBA UVISEL 2 Thiết bị phân tích phổ phân cực Ellip

HORIBA
Loại: Máy phân tích
Hãng sản xuất: HORIBA

Liên hệ

Phân tích phân cực Ellip UVISEL 2 là phương pháp quang học không phá hủy và không tiếp xúc dựa trên sự thay đổi về trạng thái phân cực ánh sáng khi phản chiếu gián tiếp vào mẫu màng mỏng. Phân tích phân cực ellip sử dụng phương pháp tiếp cận dựa trên mô hình để xác định độ dày màng, tính chất quang học…

Liên hệ

1. Đặc điểm của thiết bị phân tích phổ phân cực Ellip HORIBA UVISEL 2

  • Hoàn toàn tự động và tích hợp
  • Các linh kiện quang học và điện tử mới giúp thực hiện phép đo nhanh và chính xác.
  • Mô phỏng pha với tần số PEM cao để thu thập dữ liệu nhanh chóng và không cần dịch chuyển linh kiện quang học.
  • 8 vi điểm tiêu sắc xuống đến 35 μm
  • Hệ thống quan sát được cấp bằng sáng chế
  • Bệ mẫu XYZ lập bản đồ, tự động lấy nét và điều chỉnh độ nghiêng

2. Ứng dụng của thiết bị phân tích phổ phân cực Ellip HORIBA UVISEL 2

  • Phòng thí nghiệm
  • Phòng nghiên cứu
  • Phổ kế Ellip quét mô phỏng pha: 190-880nm
  • Hệ quan sát cho hình ảnh mẫu theo thời gian thực và đo điểm chính xác .
  • Các vi điểm được điều khiển bằng máy tính
    • Lựa chọn 8 kích thước điểm khác nhau.
    • Tiêu sắc Achromatic xuống đến 35 µm
  • Máy đo góc điều khiển bằng máy tính
    • Dải góc thay đổi:  35° – 90°
    • Cho phép thay đổi góc phổ kế
  • Bệ mẫu điều khiển bằng máy tính 200mm x 200mm, 3 trục XYZ
    • Lập bản đồ mẫu tự động
    • Bộ giữ mẫu vuông 200mm và 2 mẫu tham chiếu
    • Điều chính chiều cao  Z tự động : 40mm, tự động hội tụ
  • Căn chỉnh nghiêng mẫu
    • Căn chỉnh mẫu bằng hệ laser
  • Nguồn sáng 150 W Xenon 
  • Hệ đơn sắc đôi, dải UV-Vis
    • 190nm – 880nm (ánh sáng lạc < 0.5% tại 190nm)
    • Đầu đo PMT đôi, cho độ nhạy và dải động học cao nhất

Khả năng mở rộng vùng NIR đến 2100 nm

  • Hệ đơn sắc cho vùng NIR
    • 880nm – 2100nm.
    • Đầu đo InGaAs
  • Phần mềm Delta Psi2 
    • Thu thập, hiệu chuẩn và xử lý số liệu
    • Tự động hiệu chuẩn