HORIBA SMART SE Máy phân tích
Loại:
Máy phân tích
Hãng sản xuất:
HORIBA
Liên hệ
Thiết bị phân tích phân cực ellip (Spectroscopy ellipsometer) Smart SE linh hoạt cho kết quả phân tích màng mỏng nhanh và chính xác.
Liên hệ
1. Đặc điểm của thiết bị phân tích phổ phân cực Ellip HORIBA SMART SE
- Vận hành đơn giản bằng phím bấm
- Mô phỏng dựa trên tinh thể lỏng; không cần dịch chuyển các linh kiện quang học
- Thu nhận dữ liệu phổ nhanh do đầu đo CCD – Hệ thống quan sát được cấp bằng sáng chế.
- Có thể thay đổi góc tới
- Cấu hình trong
- Dải phổ cố định: 450nm~1000nm
2. Ứng dụng của thiết bị phân tích phổ phân cực Ellip HORIBA SMART SE
- Phòng thí nghiệm
- Phòng nghiên cứu
Cấu hình tiêu chuẩn
- Phạm vi quang phổ: 450nm đến 1000nm
- Độ phân giải quang phổ Tốt hơn 3nm
- Nguồn sáng Halogen kết hợp và đèn LED xanh
- Thời gian đo <1 giây đến 10 giây
- Kích thước chùm tia
75µm * 150µm, 100µm * 250µm,
100µm * 500µm, 150µm * 150µm,
250µm * 250µm, 250µm * 500µm,
500µm*500µmGóc tới 450 đến 900 theo bước 50 - Kích thước mẫu Lên đến 200mm
- Căn chỉnh mẫu Điều chỉnh chiều cao và độ nghiêng thủ công 17mm
- Kích thước 100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)
Hiệu suất
- Độ chính xác của không khí thẳng Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
- Độ chính xác độ dày trên 1000 Å Oxide 0.04%
- Độ lặp lại độ dày trên 1000 Å Oxide ±0.02%
Sản phẩm tương tự
